紅外焦平面探測器是熱成像系統的核心部件，是探測、識別和分析物體紅外信息的關(guān)鍵，在軍事、工業(yè)、交通、安防監控、氣象、醫學(xué)等各行業(yè)具有廣泛的應用。紅外焦平面探測器可分為制冷型紅外焦平面探測器和非制冷紅外焦平面探測器，制冷型紅外焦平面探測器的優(yōu)勢在于靈敏度高，能夠分辨更細微的溫度差別，探測距離較遠，主要應用于軍事裝備；非制冷紅外焦平面探測器無(wú)需制冷裝置，能夠工作在室溫狀態(tài)下，具有體積小、質(zhì)量輕、功耗小、壽命長(cháng)、成本低、啟動(dòng)快等優(yōu)點(diǎn)。雖然在靈敏度上不如制冷型紅外焦平面探測器，但非制冷紅外焦平面探測器的性能已可滿(mǎn)足部分軍事裝備及絕大多數民用領(lǐng)域的技術(shù)需要。近年來(lái)，隨著(zhù)非制冷紅外焦平面探測器技術(shù)的不斷進(jìn)步和制造成本的逐漸下降，其性?xún)r(jià)比快速提升，為推動(dòng)非制冷紅外焦平面探測器的大規模市場(chǎng)應用創(chuàng )造了良好條件。

　　非制冷紅外焦平面探測器主要是以微機電技術(shù)（MEMS）制備的熱傳感器為基礎，大致可分為熱電堆/熱電偶、熱釋電、光機械、微測輻射熱計等幾種類(lèi)型，其中微測輻射熱計的技術(shù)發(fā)展非常迅猛，所占*也大。近年來(lái)非制冷紅外焦平面探測器的陣列規模不斷增大，像元尺寸不斷減小，并且在探測器單元結構及其優(yōu)化設計、讀出電路設計、封裝形式等方面出現了不少新的技術(shù)發(fā)展趨勢。本文將在介紹測輻射熱計型非制冷紅外焦平面探測器的基礎上，分析其技術(shù)發(fā)展趨勢。